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飛秒激光直寫技術(shù)制備功能化微流控芯片研究進展

史楊; 許兵; 吳東; 肖軼; 胡衍雷; 姚成立 中國科學技術(shù)大學工程科學學院; 安徽合肥230026; 合肥師范學院化學與化學工程學院; 安徽合肥230601; 南通職業(yè)大學機械工程學院; 江蘇南通226007

關(guān)鍵詞:激光技術(shù) 飛秒激光 微流控芯片 微管道 多功能應(yīng)用 

摘要:飛秒激光具有獨特的超短脈寬和極高的峰值強度,飛秒激光直寫技術(shù)已廣泛用于功能化微流控芯片的制備。從3個方面針對基于飛秒激光直寫技術(shù)的微流控芯片進行綜述:不同材料微流控芯片中的飛秒激光功能器件集成技術(shù)、飛秒激光集成微流控芯片的多功能應(yīng)用以及微流控芯片的高效率飛秒激光加工技術(shù)。通過對飛秒激光直寫技術(shù)在微流控領(lǐng)域的研究結(jié)果進行總結(jié)與歸納,為飛秒激光直寫技術(shù)制備微流控芯片的研究、應(yīng)用及發(fā)展方向提供參考。

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